シリコンと化合物半導体の超精密・微細加工プロセス技術 -工程別加工技術の基礎と最新動向- エレクトロニクス / 土肥俊郎 【本】 [99817054]
シリコンと化合物半導体の超精密・微細加工プロセス技術 -工程別加工技術の基礎と最新動向- エレクトロニクス / 土肥俊郎 【本】
[99817054]
販売価格: 67,320円(税込)
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商品詳細
内容詳細半導体や化合物半導体製造技術に関し、エッチング・スライシング・ダイシング・CMPなどの精密加工技術の動向を解説した1冊。
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